平台仪器设备概览

设备名称

仪器型号

生产厂家

流动气氛长晶炉

CZ800/800x1100

北京逸夫时代科技有限公司

开放式单晶炉

CZK600

北京逸夫时代科技有新公司

等离子体辅助高压脉冲沉积系统

LS-400-II

宁波赉晟新材料科技有限责任公司

提拉炉带流动气氛

TAC-CZ-110

台湾应用晶体股份有限公司

椭偏仪

SE-VM-L

武汉颐光科技有限公司

36通道IVL自动测试系统

FS-3200GA4-IVL

苏州弗士达科学仪器有限公司

256通道寿命测试系统

FS-MP256

苏州弗士达科学仪器有限公司

高性能计算平台

PR2710P

宝德

半导体器件参数测量仪

FS-Pro

香港英诺斯顿科技公司

量子云码信息采集关联自动化控制设备盒装(含软件)

HX-80

广州慧翼智能科技有限公司

量子云码信息采集关联自动化控制设备瓶装(含软件)

HX-160

广州慧翼智能科技有限公司

电场强度测试系统

FPH6TS-EMF

德国R&S

多品类微纳缺陷污染物定标平台

SPEMIX-160

苏州朗晖光电科技有限公 司

晶圆节点三轴立体微结构测试仪

LR-STM7

苏州朗晖光电科技有限公司

光电薄膜器件稳态/瞬态发光测试系统

FLS1000

爱丁堡

分子取向特征测量系统

C13472-01

HAMAMATSU

绝对量子产率测量仪

C11347-11

HAMAMATSU

穿透分离装置

CT-4

徐州北方高瑞电子设备有限公司

双球光色测试系统

CSTM-12-CDS600

上海蓝菲光学仪器有限公司

干袋式等静压机

XH-500

厦门曦华新材料科技有限公司

精密压缩式成型机

TG-MIII

东莞市天贺电子科技有限公司

台式扫描电镜+能谱

FlexSEM1000(SU1000)

日立

测漏仪

UL-1000Fab

苏州芯卓源半导体有限公司

氮气纯化器

9NS030-I

上海先普气体技术有限公司

氢气纯化器

9NSG020-H-HT

上海先普气体技术有限公司

电化学综合测试仪

MDC 802B-200

蔚华

石墨配件烘烤设备

HBM-1000G

吉兰丁

外延生长翘曲度测试仪

SYS1072-511

吉兰丁

恒温恒湿净化设备系统

HMZK076XW,HMAW130A2C

深圳融科科技有限公司

原子力显微镜

Dimension Icon

Bruker

非接触非损伤方块电阻测试仪

LEI-1616AM

Semilab

光致发光光谱仪

PLATOM

Etamax

光电效应实验仪

HL9900

Toho

金属-氧化物化学气相沉积

WXSX006

无锡尚贤新材料科技有限公司

超高分辨纳米材料沉积喷墨系统

S050

SIJTechnology,Inc.

台式X射线衍射仪

MiniFlex600

株式会社理学

OGP影像测量仪

NVC300

天准仪器

可调谐激光源

81608A

Keysight(是德科技)

光波测试系统

8164B

Keysight(是德科技)

贴片机

JZ-FT-4531-B

深圳九州光电子技术有限公司

封盖机

JZ-FT-0022-A

深圳九州光电子技术有限公司

光学共晶机

JZ-FT-0023-A

深圳九州光电子技术有限公司

打线机

S450-BW

宁波尚进自动化

绑线机

BRT6000-T

宁波尚进自动化

钙钛矿发光器件沉积系统

PD-400S

武汉普迪真空科技有限公司

六轴精密移动平台

AI-HH-100XY-24Z-56RT

ALIO

自动调焦超分辨光学显微成像系统

OPTONANO

opto nano

计算服务器及配套设备

PowerEdgeT640

戴尔

动态热机械分析仪

Diacovery DMA850

Wateionrs Corporat

紫外光刻机

MDA-400M

MIDAS

蒸镀+手套箱系统

定制;FS380-S08

苏州方昇、苏州威格

高压微射流

PSI-20

PSI Instruments Srl

热电特性评价装置

ZEM-3

ADVANCE RIKO

导热测试仪

DXF200+

Waters Corporation

微波消解仪

Ethos UP

意大利Milestone

纳米粒度与ZETA电位分析仪

Zetasizer  Ultra

英国Malvern Panalytical

激光共聚焦显微镜

A1RHD25

NIKON

倒置荧光显微镜

Axio Obsever 7

Carl Zeiss

太阳光模拟器

94023A

Newport

太阳能电池量子效率测试系统

66984-300XF-R1

Newport

傅里叶变换近红外显微测试系统

RL-FTIR-M10

北京睿光科技有限责任公司

深制冷可见光探测器

EA4240V-BV-CL

Raptor  Photonics

荧光显微成像系统

IX73

日本奥林巴斯光学工业股份有限公司

瞬态多光谱成像系统

TRMI-S-20

奥谱天成(厦门)光电有限公司

全自动变温上/下转换发光产率测试装置

ATU/DQY-P250-1800

奥谱天成(厦门)光电有限公司

X射线诱导发光光谱测量装置

XILS-P70V

奥谱天成(厦门)光电有限公司

X射线诱导发光及影像

XILIT-P70V

奥谱天成(厦门)光电有限公司

变温X射线发光装置

XILIT3-P70V

奥谱天成(厦门)光电有限公司

纳米粒度分析仪

ZetasizerLAB

马尔文帕纳科公司

显微镜静态保持系统

NirVivoMIX

上海珩翼行科技有限公司

立式镗铣加工中心(CNC加工中心))

VF-4SS-V

哈斯自动数控机械有限公司

UV喷墨系统+可变数据排版软件

G5-UVBUV数码喷墨印刷系统

上海鹤颖数码科技有限公司

芯片式热重分析仪

LoC-TGA-1002

厦门海恩迈科技有限公司

推拉力仪

MFM1200

深圳市德瑞茵精密科技有限公司

半导体参数分析仪

4200A-SCS

美国泰克

眼图测量系统

OPB-BERT-200G-P4

OPTELLENT/MP2110A

金属蒸发设备

GTF-600

福建国泰光电设备有限公司

对位光刻机

MA/BA Gen4

SUSS MicroTec Lithography Gmbh

厌氧烘箱

MOLZK-32D1

合肥真萍电子科技有限公司

等离子打胶机

IoN 10Q

PVA TePla AmericaInc

快速退火炉

AW 610M

Allwin21

场扫描电镜SEM)EDX

GeminiSEM 360

Carl Zeiss Microscopy Ltd

LED光学检测系统

EL2R01

厦门福信光电集成有限公司

激光显微拉曼光谱仪

DXR3

Thermo Fisher

智能3D数码显微镜

Smartzoom 5

卡尔蔡司

屏蔽材料性能综合测试系统项目

定制

上海莱天通信技术有限公司

高速摄像机

PhantomVEO710LL

Vision Research Inc (AMETEKINC)

振动样品磁强计

EZ7

MicroSense公司

多线切割机

DX2226AC

唐山晶玉科技股份有限公司

射线半导体测试系统

4200A-SCS

吉时利(Keithley)仪器公司

石墨电阻加热系统

JGD800-G/D

中国电子科技集团公司第二十六研究所

闪烁屏成像测试系统

PSCX01

中国科学院高能物理研究所

稳态光谱仪、激光器、荧光量子效率测试系统

X-FS65/NIR-17

上海良允科学仪器有限公司

闪烁晶体性能测试平台

RS-KTDX-TH-2

东莞市瑞凯环境检测仪器有限公司

液相外延炉

LPE-550

中国电子科技集团公司第二十六研究所

抛光机

CP-460EC-SIR2

上海致领半导体科技发展有限公司

布里奇曼晶体生长系统

VBM-5-440

数安信(重庆)信息科技有限公司

衬底晶体生长炉

CZ800

北京逸夫时代科技有限公司

微米级芯片转移设备

FC3000MSF

东丽工程株式会社

微米级芯片激光修复机

LMT-350TRF

东丽工程株式会社

激光共聚焦显微镜

C2si

nikon

高温PVT设备

LG-PVT800A

山东力冠微电子装备有限公司

双面对准紫外光刻机

URE-2000S/35AL

中国科学院光电技术研究所

喷墨打印设备(薄膜封装)

NEJ-EA-P

武汉国创科光电装备有限公司

荧光光谱仪

FLS1000

EDINBURCH INSTRRUMENTS

多功能半导体性质测试系统

NYMs-1T

上海能逸半导体科技有限公司

二维材料-氮化镓MOCVD

MOCVD-ALEP

楚赟精工科技(上海)有限公司

时间分辨与发射角分辨光谱系统

SCT-320

Teledyne Princeton Instrumengts

GaN干法刻蚀机

PlsmaPro 100 Cobra

英国牛津仪器

氧化硅PECVD设备

EPEE 550D

北方华创

高深宽比硅和二氧化硅干法刻蚀机

PlsmaPro 100 Cobra

英国牛津仪器

电子束光刻机

eLINE Plus

Raith

NanoLED光学测试系统

GS-ML-100

Gamma Scientific Inc.

交流电原子力显微镜

FM-NanoviewOp-AFM

 苏州飞时曼精密仪器有限公司

原子层沉积系统(薄膜封装)

R-200 Adv

Beneq

纳米压印系统

Eitre 6

Obduca

数字微纳光刻系统

iGrapher

苏大维格

薄膜封装手套箱

非标定制

威格

高真空磁控溅射薄膜沉积系统

TRP450

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

智能微流控发光材料合成装备

MF-QDSS

北京燕京电子有限公司

大型设备气体安全保障系统

定制

上海茂竺电子科技

X射线衍射仪

MiniFlex600

株式会社理学

半导体光电传感器综合测试分析仪

SLST-125

苏州长莱特机电科技有限公司

伺服液压测试系统

Landmark 370.10

美特斯工业系统(中国)有限公司

材料沉积喷墨打印系统

Autodrop Grantry II

德国Microdrop Technologies 公司

电致发光综合测试系统

FS-1500GA4

苏州弗士达科学仪器有限公司

基于视觉的晶体生长过程监控系统

定制

厦门贝启科技有限公司

真空高温陶瓷烧结炉

HS-2000GZ/300*300(MM)

郑州市恒塑电子科技有限公司

电子倍增电荷耦合相机(EMCCD

DU888

英国Andor

近红外相机

Ninox-640-SU

日本Nikon

光谱仪

kymera-328i

英国Andor

荧光介观和显微成像系统

Ti2-E

日本Nikon

同步热分析仪

STA449F5

德国耐驰科学仪器制造有限公司

真空镀膜系统

MB-ProVap 4

德国布劳恩惰性气体系统有限公司

手套箱

MB-200MOD

德国布劳恩惰性气体系统有限公司

快速烧结炉

定制

南京誉科真空炉业有限公司

光学3D表面轮廓仪

superView W1

深圳市中图仪器股份有限公司

热等静压烧结炉

RDJ260/350-200.2000

四川航空工业川西机器有限责任公司

多场耦合烧结炉

非标

安徽晨鑫维克工业科技有限公司

原位近常压X射线光电子能谱仪

Proven-X NAP

德国SPECS公司

X射线散射线站

Xeuss 3.0

法国Xcenocs SAS

场发射透射电子显微镜

JEM-F200

日本电子株式会社

圆偏振荧光光谱仪

CPL-300

日本JASCO

透射电子显微镜

JEM-2100PLUS

日本电子株式会社

台式X射线吸收精细结构谱仪

easyXAFS300+

美国easy XAFS LLC.

X射线单晶衍射仪

Rigaku

株式会社理学

2英寸多孔氮化镓生长设备

SSI-T3600

台湾世欣科技股份有限公司

4英寸HVPE生长设备

定制

山东力冠微电子装备有限公司

自动耦合台

OPL-CO-MH

湖南中南鸿思科技有限公司

平行封焊机

HC-SM100

烟台华创智能科技有限公司

光纤声光调制模块

CAFA-200-7.5-025-TE19B-397-AF-A88

福晶科技股份有限公司

霍尔效应测试系统

ET9000/SRDK-101D

KEITHLEY

飞秒脉冲测量仪

MS-FROG-SP-2020

法国Femto Easy

红外折射率测量仪

Prism Pro Spectrum

美国M3公司

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

PlasmaPro 100 PECVD

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited T/A Oxford Instruments Plasma Technology

金属溅射(sputter

M600

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited T/A Oxford Instruments Plasma Technology

电镀机

SS-T06-EPW-03A

KOYO THERMO SYSTEMS CO.LTD

电感耦合等离子体(ICP)

PlasmaPro 100 Cobra

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited T/A Oxford Instruments Plasma Technology

电感耦合等离子体(RIE)

PlasmaPro 80 RIE

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited T/A Oxford Instruments Plasma Technology

扩散氧化炉

VF-1000B

KOYO THERMO SYSTEMS CO.LTD

上蜡机&研磨机

WG-1220

北京中电科电子装备有限公司

切割机

AR3000/AC800

江苏京创先进电子科技有限公司

自动测试台

VPT8090L

惠特科技股份有限公司

老化抽屉式烘箱

OB9330T

上海菲莱测试技术有限公司

85度烘箱(含测试台)

FLT455

上海菲莱测试技术有限公司

中压制备液相色谱仪

NextGEN 300

美国ISCO公司

纳米薄膜制备系统

KLD-PE100B

武汉科纳迪真空科技有限公司

X射线衍射仪

XPert3 MRD

荷兰Malvern Panalytial B. V.公司

钨灯丝扫描电子显微镜

Axia ChemiSEM HiVac

捷克ThermoFisher公司

能谱仪

ColorSEM

捷克赛默飞世尔科技有限公司

X射线粉末衍射仪

D2 PHASER

马来西亚布鲁克

三重四级杆原位质谱仪

Ultivo

安捷伦

有机金属热蒸发镀膜机

PROvap 6G

布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司

阻抗分析仪

E4990A

美国keysight

在线质谱仪

BSD-MASS

贝士德仪器科技(北京)有限公司

飞秒激光器

HR-Femto-IR-200-40+SHG

武汉华日精密激光股份有限公司

兆声氮气旋干机

MSC-200FM

深圳远荣半导体设备有限公司

手动清洗机

FXF029-001

苏州富芯峰半导体设备有限公司

纳米压印光刻设备

UniPrinter

青岛天仁微纳科技有限公司

卷绕镀膜机

品牌:光润真空;型号:DRP-800

无锡光润真空科技有限公司

特殊气体供气系统

MS-GCP061

上海茂竺电子科技有限公司

X射线质控件检测设备

nano3DX

日本理学株式会社

激光干涉仪

G100HD

上海乾曜光学科技有限公司

喷墨打印机和喷墨打印机打印头模组(6组)

NEJ-PQD200-MDNEJ-PHead-256J-VCD200

武汉国创科光电装备有限公司

打印基板干燥装置

NEJ-VCD200

武汉国创科光电装备有限公司

白光干涉仪

ContourX-200

SRUKER(M) Sdn Bhd.

导热仪

NETZSCH  LFA 467

德国耐驰科学仪器制造有限公司

多光子共聚焦显微镜

AXR  MP

Nikon

超高速离心机

Optima XPN-100

贝克曼

原位加热三维重构透射电镜样品杆

PicoFemto

PicoFemto

多模态结构光超分辨显微镜

Multi-SIM VIS&IR

纳析科技

半导体参数分析仪

Tektronix 4200A-SCS

Tektronix公司

光伏器件能量损失测试系统

ENLITECH REPS-V0S

光焱科技股份有限公司

瞬态光电流电压测试系统

Zahner CIMPS-FIT

Zahner

液氦闭环变温附件10K-300K

DE-202AE

ARS

中远红外宽带可调谐飞秒激光器

PH2-2mJ-SP

Light Conversion

三维纳米加工系统

Photonic Professinal GT2

Nanoscribe GmbH & Co. KG

InGaAs显微成像系统

NRV-640

Teledyne Princeton Instrumengts公司

放电等离子烧结炉

LABOX-110

SIN TER LAND INC.

微纳像元阵列检测设备

X6/DMS-1500

森美协尔/远方

多站重量法气体蒸气吸附仪

BSD-DVS(4站)

贝士德仪器科技(北京)有限公司

冷等静压机

金开源SXKYYC

山西金开源实业有限公司

高真空热阻蒸发薄膜沉积系统

DZ350

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

双通道IVL测试系统

J3000-SI

广州追光科技有限公司

工业正置显微镜

BX53M

广州元升科技有限公司

光致发光测量系统

XPQY-EQE-Adv

广州市犀谱光电科技有限公司

光电器件制备与物性分析系统

定制

武蕨高科技株式会社

荧光显微镜

BX53M

奥林巴斯

光子多通道分析仪

Hamamatsu C10027-01

HAMAMATSU

智能型快速纯化系统

SepaBean machine T

上海秦珍生物科技有限公司

全自动卡氏库伦法水分测定仪

2.831.0010

瑞士万通

射线探测系统

AGDM+

Moxtek

光纤光谱仪(QEPro

QEPro

海洋光学

止滑测试仪

HY-782PS-II

东莞市恒宇仪器有限公司

疲劳试验机

HY-772JS

东莞市恒宇仪器有限公司

多波长稳瞬态LED(含时序控制器)

MTLED-P365/385/405/585/660

福州达士通仪器设备有限公司

光纤光谱仪(ATP8500ATP6500

ATP6500/8000

奥谱天成(厦门)光电有限公司

高倍体式显微镜

SZX16

奥林巴斯

近红外二区电动变倍显微成像镜头系统   

SWIRZ0.5-3.3X-MF

北京睿光科技有限责任公司

高精度快速光谱辐射计

HAAS-2000

杭州远方光电信息股份有限公司

傅里叶光谱仪

OSA207C

Thorlabs,Inc

自相关仪

PluseCheck 50NX

德国APE公司

应变综合测量系统

DSE-LVE12-5

联恒光科(苏州智能技术有限公司)

电化学综合测试仪

VERSASTAT 3F

普林斯顿

高精度快速光谱辐射计

HAAS-2000

杭州远方光电信息股份有限公司

光色电综合测试系统

PCE-2000A

杭州远方光电信息股份有限公司

紫外可见分光光度计

U-3900

日立科学仪器(北京)有限公司

LED光源老化与寿命测试系统

LM-80B2-4800W

深圳市倍科仪器设备有限公司

荧光粉激发光谱与热猝灭分析系统

EX-1000

杭州远方光电信息股份有限公司

荧光显微镜

LV100N POL

日本Nikon

超高速智能粒度分析系统

LT2200

江西真仪科技有限公司

光谱光度辐射度计

PR670

北京卓立汉光仪器有限公司

霍尔效应测试仪

M91

美国LakeSHore公司

超快速温变仪

TYST-600-60

江苏天一瑞合仪器设备有限公司

检漏仪

A100

福建奕欣仪器设备有限公司

超声回波材料表征系统

UMS-200

TECLAB

X-ray检测设备

X8800

深圳伟铭光电有限公司

差示扫描量热仪

DSC3500

德国耐驰仪器制造有限公司

红外显微镜

LV150N

Nikon

椭偏仪

ES01

武汉颐光科技有限公司

台阶仪

DEKTAK XT

BRUKER

手动测试台

M6

深圳市森美协尔科技有限公司

气相色谱仪

8860

安捷伦科技贸易(上海)有限公司

荧光光谱仪

FluoroMax+

HORIBA

多通道寿命测试仪

D3000-32

广州晶合设备有限公司

IVL测试仪

TEGIVL自动检测系统

苏州弗士达科学仪器有限公司

荧光显微镜

DM2700M

徕卡

数码显微镜

LV150N

Nikon

磁性材料自动测量系统

定制

是德科技

离子溅射仪

Cressington108A

英国cressington

光谱分析仪

AQ6370D

YOKOGAWA

激光光束测量仪

CinSquareCS300-HP

德国CINOGY公司

自相关仪

pulseCheck SM 2000

德国APE公司

手持式光谱合金材料分析仪

XL2 100G

赛默飞世尓尼通

红外热成像仪

C.A1889-1

法国 CA 公司

自动化驱动器模拟、逻辑信号瞬态分析系统

MXO4

罗德与施瓦茨公司(R&S

弧面/球面异形视觉检测平台

1280*1000*1800mm

深圳市盛达泰实业有限公司

画像检测系统

VTV-9000M-SET

深圳市和厚科技有限公司

XYZ龙门式大理石视觉检测平台

L1400*W900*H1600

深圳市如翼视觉设计有限公司

双工位检测模组

DH24TEST-GW

东莞市三合盈科技有限公司

光电吸收发射谱测试系统 CIMPS-ABS 德国Zahner公司 
闪烁体辐射发光光谱仪 OmniFluo960-XrayP 北京卓立汉光分析仪器有限公司
离子注入机 非标定制 合肥普松电气科技有限公司
光电器件惰性气氛封装系统 Universal(2400/750/900) 米开罗那(上海)工业智能科技股份有限公司
薄膜电极制备系统 ZHDS400 北京泰科诺科技有限公司
离子体活化晶片键合设备 非标定制 合肥聚盛真空科技有限公司
流延成型机 KY-6CAM-230 武汉坤元流延科技有限公司
 空间激光通讯测试系统  S-BL-T1550 杭州博源光电科技有限公司
 低温氩离子抛光系统  UFM-1000 上海迈科英诺科学仪器有限公司 
空间多维度探针/蓝光测量系统 RA8520-7PLUS 海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司
温等静压机 KY-ILS-80Mpa 武汉坤元流延科技有限公司
功率器件工艺验证系统(高温栅偏试验系统) GK-HTGB-C16 杭州高坤电子科技有限公司
功率器件工艺验证系统(高温反偏试验系统) GK-HTRB-C16  杭州高坤电子科技有限公司
功率器件工艺验证系统(高温高湿反偏测试系统(单管))  GK-HTRB-C16  杭州高坤电子科技有限公司
功率器件工艺验证系统(高加速应力测试系统(单管))  GK-H3TRB-C16  杭州高坤电子科技有限公司
功率器件综合曲线追踪测试仪 B1505A Keysight Technologies 公司
 亚微米等级像素缺陷检测系统及其AI-SAAS大数据平台  XC-6-0400WFR-24L01  英铂科学仪器(上海)有限公司
晶圆高功率变温测试系统 TS2000-DP MPI CORPORATION
真空烧结炉 HDVO-070714 湖南顶立科技股份有限公司
激光切割机 PIC0PR0-532-01 中测光科(福建)技术有限公司
开尔文探针显微镜 AFM100Plus 日立高新技术有限公司
喷墨打印机 Jetlab 美国MicroFab公司
流式细胞仪 FACSAria 美国BD公司
荧光增强型二维光电成像系统  IVIS 美国Revvity, Inc 公司
光电材料XRD原位表征系统 SmartLab 株式会社理学
分子束外延系统(MBE) MBE412 RIBER 公司
化学机械抛光机(CMP) Bruker TriboLabCMP BRUKER (M) Sdn Bhd. 公司
晶圆键合机 SUSS SB8Gen2 SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co.KG 公司
兆声清洗机 SUSS AD12 SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co.KG 公司
分光镜对位系统研发平台 FINEPLACERlambda2 Finetech GmbH & Co. KG公司