闽都创新实验室（中国福建光电信息科学与技术创新实验室）
Fujian Science & Technology Innovation Laboratory for Optoelectronic Information of China
闽都创新实验室（中国福建光电信息科学与技术创新实验室）
Fujian Science & Technology Innovation Laboratory for Optoelectronic Information of China
致各潜在供应商：
闽都创新实验室（下称“实验室”）因课题研究方向的需要，国产设备尚不能满足采购需求，拟需采购“微纳加工制造支撑平台”项目的进口产品，预算总金额为15500000元，专家论证意见内容详见附件《政府采购进口产品专家论证意见》。
各潜在供应商若对专家组论证意见持有异议，请在进口产品专家论证意见公示截止时间前提出，并同时将书面材料原件以及相关佐证材料加盖供应商公章送至实验室，潜在供应商未在采购需求公示截止时间前递交书面材料的或递交了书面材料但未提供明确证明材料的，将视其意见无效，无法满足采购需求。
进口产品专家论证意见公示截止时间及各潜在供应商递交材料的截止时间为：2021年11月17日17：30时为止。
| 序号 | 设备名称 | 计量 单位 | 数量 | 是否进口 | 预算金额（元） |
| 1 | 扩散氧化炉 | 套 | 1 | 是 | 3200000 |
| 2 | 快速退火炉（RTA) | 套 | 1 | 是 | 700000 |
| 3 | 对位光刻机 | 套 | 1 | 是 | 2200000 |
| 4 | 等离子打胶机 | 套 | 1 | 是 | 700000 |
| 5 | 电感耦合等离子体(ICP) | 套 | 1 | 是 | 3900000 |
| 6 | 电感耦合等离子体（RIE) | 套 | 1 | 是 | 2000000 |
| 7 | 等离子体增强化学气相沉积 | 套 | 1 | 是 | 2800000 |
通讯地址：福州市闽侯县上街镇高新区海西高新区科技园高新大道8号
电话：0591-63173852
联系人：王女士
闽都创新实验室
2021年11月14日
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