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半导体测试
 
 

 

 

多品类微纳缺陷污染物定标平台

  

立体微结构测试仪

仪器型号： SPEMIX-160
产地： 中国
仪器制造商： 苏州朗晖光电科技有限公司
仪器负责人： 吴琛
放置地点： 闽都实验室园区D区3号楼403
联系方式： tscb@fjoel.cn
仪器状态： 在用
主要功能： 实现半导体工艺中晶圆表面与焊线表面微纳米级样品污染物及缺陷标定，可选区单颗粒特征光谱，标记缺陷的空间与光谱的四维信息。用于形貌观察、光谱分析、高光谱分析、缺陷分析。
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仪器型号： LR-STM7
产地： 中国
仪器制造商： 苏州朗晖光电科技有限公司
仪器负责人： 吴琛
放置地点： 闽都实验室园区D区3号楼403
联系方式： tscb@fjoel.cn
仪器状态： 在用
主要功能： 用于检测晶圆工艺节点中的三维形貌特征，光学光谱成像的特性，以及材料的表面形貌观察和尺寸测量。
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